MEMS压力传感器原理及使用详解

　　的压阻式传感器，如无压力改变，其输出为零，几乎不耗电。其电原理如图1所示。硅压阻式压力传感器其应变片电桥的光刻版别如图2。

　　MEMS硅压阻式压力传感器选用四周固定的圆形的应力杯硅薄膜内壁，选用MEMS技能直接将四个高精密半导体应变片刻制在其外表应力最大处，组成惠斯顿丈量电桥，作为力电改换丈量电路，将压力这个物理量直接改换成电量，其丈量精度能达0.01%~0.03%FS。硅压阻式压力传感器结构如图3所示，上下二层是玻璃体，中心是硅片，硅片中部做成一应力杯，其应力硅薄膜上部有一真空腔，使之成为一个典型的绝压压力传感器。应力硅薄膜与真空腔触摸这一面经光刻生成如图2的电阻应变片电桥电路。当外面的压力经引压腔进入传感器应力杯中，应力硅薄膜会因受外界的力的效果而轻轻向上兴起，发生弹性变形，四个电阻应变片因此而发生电阻改变，损坏原先的惠斯顿电桥电路平衡，发生电桥输出与压力成正比的电压信号。图4是封装如IC的硅压阻式压力传感器什物相片。

　　电容式压力传感器使用MEMS技能在硅片上制造出横隔栅状，上下二根横隔栅成为一组电容式压力传感器，上横隔栅受压力效果向下位移，改变了上下二根横隔栅的距离，也就改变了板间电容量的巨细，即△压力=△电容量。电容式压力传感器什物如图。

　　MEMS压力传感器大范围的使用于轿车电子：如TPMS（轮胎压力监测体系）、发动机机油压力传感器、轿车刹车体系空气压力传感器、轿车发动机进气歧管压力传感器（TMAP）、柴油机共轨压力传感器;消费电子，如胎压计、血压计、橱用秤、健康秤，洗衣机、洗碗机、电冰箱、微波炉、烤箱、吸尘器用压力传感器、洗衣机、饮水机、洗碗机、太阳能热水器用液位操控压力传感器;工业电子，如数字压力表、数字流量表、工业配料称重等。